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• 디지털 노광 엔진, -露光-, Digital Exposure Engine, DE2

  순간 구동시키는 방식으로 광을 제어해 곧바로 기판 위에 미세 패턴을 형성하는 기술. 기존 노광 공정에 필수인 포토 마스크 이용을 생략한 기술로 필름이 필요 없는 디지털카메라의 작동 원리를 노광 공정에 적용한 개념이다. 대용량 메모리 저장과 전송, 광학, 운용 소프트웨어 등 각종 첨단 기술을 하나로...